1200C Systém PECVD s tromi vykurovacími zónami
1200C Systém PECVD s tromi vykurovacími zónami

1200C Systém PECVD s tromi vykurovacími zónami

SK2-CVD-12TPB4 je rúrková pec pre systém PECVD, pozostávajúca z 300W alebo 500W vysokofrekvenčného napájacieho zdroja, viackanálového presného prietokového systému, vákuového systému a rúrkovej pece. Bežne používaná teplota je 1100 stupňov Celzia alebo nižšia a jej hlavnými charakteristikami sú nízka teplota nanášania, vysoká rýchlosť, dobrá kvalita filmu, menej dier a menšia náchylnosť na praskanie. Ideálne zariadenie na pestovanie nanovlákien alebo prípravu rôznych tenkých vrstiev metódou CVD.
Zaslať požiadavku
Funkcia

 

● Maximálna teplota RT -1200 stupňov

● Rozdelený typ pece, pec môžete otvoriť.

● Môže zaviesť viac ako 2 kanály plynu so stupňom vákua 10 Pa pomocou mechanickej pumpy a 500 W RF napájacieho zdroja na zlepšenie signálu.

● Vysokokvalitné izolačné materiály z keramických vlákien z oxidu hlinitého

● Presnosť regulácie teploty ±1 stupeň

● S funkciou alarmu prehriatia

● Chladiaci ventilátor môže znížiť teplotu krytu

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Rozmery: Štandardná dĺžka vykurovacej zóny (mm)

440 mm

Rozmery: Štandardný priemer rúry (mm)

∮60 mm

Max.teplota

1200 stupňov, nepretržitá pracovná teplota 1100 stupňov.

Napätie (V)

220 1P

Typ termočlánku

K

Vyhrievacie teleso

HRE zliatinový odporový drôt

Presnosť teploty

±1 stupeň

Rýchlosť vykurovania

Voľná ​​úprava 0-30 stupňov/min

Komorný materiál

Použitie pokročilého vysokokvalitného mikrokryštalického vláknitého materiálu z oxidu hlinitého

Konštrukcia pece

Dvojvrstvová vzduchom chladená štruktúra, povrchová teplota je nižšia ako 60 stupňov

Regulátor teploty

Inteligentný prístroj na reguláciu teploty PID, 30 programových segmentov, riadenie SSR, funkcia samoladenia parametrov PID; program zvýšenie teploty, program uchovanie tepla, program chladenie

500W RF zdroj

Výstupný výkon: 5-500W ±1 stupeň

RF frekvencia: 13,56 MHz ± 0,005 %

Odrazený výkon: až 100W

Zhoda: Automatická

RF rozhranie: 50Ω, typ N

Chladenie: chladenie vzduchom

Napájanie: AC 208-240V, 50/60 Hz

4-kanálový systém presného prietoku

1. Prietok v plnom rozsahu (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Typ ventilu: Ventil Solenold.

3. Kľudová poloha ventilu: Normálne zatvorená.

4. Diferenčný tlak: (50-300)kpa

5. Tlaková odolnosť: 3 mpa.

6. Prevádzková teplota: 5-45 stupňov

7. Materiály: nehrdzavejúca oceľ 316L.

Vákuový systém

5*10-3Pa

KF25 rýchlospojka, nerezový vlnovec, manuálny klapkový ventil a príruba, vákuová pumpa

Voliteľne môžu byť vybavené aj systémy s vyšším vákuom.

image001

VITAJTE OEM/ODM

 

Štandardné príslušenstvo

 

Tepelné rukavice|Téglikový hák|Termočlánok|Rúrkový blok|Používateľská príručka |Nástroje|Vákuová pumpa| Kremenná trubica|Príruba|Tesniaci krúžok|10mm plynová hadica|Podpera príruby, Plynový systém, RF napájanie.

 

Voliteľné

 

Iná vykurovacia zóna podľa vášho výberu;

LCD dotykové ovládanie na výber

Port RS485/USB na pripojenie počítača podľa výberu.

 

Detailný obrázok pre CVD-PECVD

 

image003
500W RF zdroj
image005
Vákuový systém
image007
4-kanálový systém presného prietoku

 

Aplikácia

 

Toto zariadenie sa používa najmä na pestovanie nanodrôtov alebo prípravu rôznych tenkých vrstiev pomocou CVD metódy.

 

Záruka

 

Jednoročná záruka a doživotná technická podpora

Špeciálne tipy:

1. Spotrebný materiál ako vykurovacie teleso, kremenná trubica, téglik na vzorky atď. nie je v záručnej dobe.

2. Na škody spôsobené použitím korozívneho plynu a kyslého plynu sa záruka nevzťahuje.

 

Populárne Tagy: 1200c tri vykurovacie zóny pecvd systém, Čína 1200c tri vykurovacie zóny pecvd výrobcovia, dodávatelia